ÓÉÖÐ×鲿×éÖ¯µÄ¡°Ð§À͸ïÃüÀÏÇøÔºÊ¿×¨¼ÒÐС±µÚÒ»Õ¾½Î÷ÐУ¬£¬£¬ÓÚ2017Äê8ÔÂ31ÈÕÔÚʡίÊé¼Ç¹ÐÄÉ硢ʡ³¤ÁõçùÖ÷³ÖÏÂÕýʽÆô¶¯¡£¡£¡£¡£¡£´Ë´Î¼ÓÈë½Î÷ÐеÄԺʿ¹²30룬£¬£¬ÔºÊ¿ÊýĿ֮¶à´ïÀúÄêÖ®×î¡£¡£¡£¡£¡£´Ë´ÎÔ˶¯£¬£¬£¬½Î÷ʡί¡¢Ê¡Õþ¸®ºÜÊÇÖØÊÓ£¬£¬£¬ÔÚÈËÃñÈÕ±¨¡¢½Î÷ÈÕ±¨¡¢½Î÷ÎÀÊӵȸ÷´óýÌå×öÁË´ó×ÚµÄרÌⱨµÀ¡£¡£¡£¡£¡£
9ÔÂ1ÈÕÓÉÄϲýÊÐίÁú¹úÓ¢¸±Êг¤´ø¶Ó£¬£¬£¬ÖпÆÔºÔºÊ¿ºÂÔ¾¡¢ñÒ¾ýºÆµ½Áª´´¹âµç¾ÙÐÐÏÖ³¡ÊÖÒÕ×Éѯ¼°Ö¸µ¼¡£¡£¡£¡£¡£¹«Ë¾µ³Î¯Êé¼Ç¼æ×ܹ¤³Ìʦ½¯¹úÖÒ¡¢¸±×ܲùù³¤±ó£¬£¬£¬ÊÖÒÕÖÐÐÄ¡¢²©Ê¿ºó¿ÆÑÐÊÂÇéÕ¾¡¢ÌØÎ¢¹«Ë¾¡¢Ö¹⹫˾µÄÖ÷ÒªÈÏÕæÈ˼°Ïà¹ØµÄ²©Ê¿¡¢ÊÖÒÕÖ°Ô±¼ÓÈëÁË×ù̸£¬£¬£¬¾Û»á¾Í¾üÓÃJFET½µÔë¡¢¿¹·øÕÕ£¬£¬£¬ºìÍâ̽²â£¬£¬£¬MEMS´«¸ÐÆ÷µÈÒªº¦ÊÖÒÕ¡¢ÒÉÄÑÎÊÌâÏòÁ½Î»ÔºÊ¿¾ÙÐÐÁË×Éѯ¡£¡£¡£¡£¡£Á½Î»ÔºÊ¿¾ÍÊÖÒÕÎÊÌâʵÖÊËùÔÚ¡¢½â¾ö¼Æ»®¡¢¼°ÊÖÒÕÉú³¤Ç÷ÊÆÓëÆ«Ïò¡¢ÐÐÒµÐÅÏ¢µÈ·½Ãæ¸ø³öÁ˺ÜÊÇרҵµÄÏêϸ½â´ð¼°Ö¸µ¼¡£¡£¡£¡£¡£
9ÔÂ14ÈÕʡί×éÖ¯²¿³£Îñ¸±²¿³¤Ö÷³ÖÕÙ¿ªÁËÔ˶¯×ܽá»á£¬£¬£¬Áª´´¹âµç×÷ΪÄϲýµØÇøÆóÒµ´ú±í£¨¹²Á½¼Ò£©³öϯ¾Û»á²¢½²»°¡£¡£¡£¡£¡£»£»£»áÉÏ£¬£¬£¬¹«Ë¾ÊÖÒÕÖÐÐĸ±×Ü¼à»Æ½¨Ãñ´ú±í¹«Ë¾ÏÈÈÝÁËÁ½Î»ÔºÊ¿µ½¹«Ë¾¿ªÕ¹×Éѯ´ðÒÉÔ˶¯µÄÇéÐμ°¹«Ë¾ÊÖÒÕÁ¢ÒìÊÂÇé¡£¡£¡£¡£¡£